Blanco Titanium de la farfulla de la pureza elevada 99,5% para el sistema de capa de Pvd

Blanco 99,5% de la farfulla del titanio, 99,95% D100x40mm, D65x6.35mm

La pureza es el índice principal del funcionamiento del material de blanco, porque la pureza del material de blanco tiene una gran influencia en el funcionamiento de la película.

Requisitos de funcionamiento principales del material de blanco:

La pureza es el índice principal del funcionamiento del material de blanco, porque la pureza del material de blanco tiene una gran influencia en el funcionamiento de la película. Sin embargo, en el uso práctico, los requisitos de la pureza de la blanco no son lo mismo. Por ejemplo, con el desarrollo rápido de la industria de la microelectrónica, el tamaño del chip de silicio se ha desarrollado a partir de la 6", 8" a 12", mientras que la anchura de conexión se ha reducido de 0.5um a 0.25um, a 0.18um o aún a 0.13um. Previamente, 99,995% de la pureza de la blanco pueden cumplir los requisitos de proceso de 0.35um IC, mientras que la preparación de la línea 0.18um requiere 99,999% o aún 99,9999% de la pureza de la blanco.

Las impurezas en el sólido de la blanco y el vapor del oxígeno y de agua en los poros son las fuentes principales de la contaminación. Diversos materiales de blanco tienen diversos requisitos para diverso contenido de impureza. Por ejemplo, las blancos puras del aluminio y de la aleación de aluminio para la industria del semiconductor tienen diversos requisitos para el contenido alcalino-metálico y el contenido del elemento radiactivo.

Para reducir la porosidad en el sólido de la blanco y mejorar las propiedades de películas farfulladas, la blanco se requiere generalmente para tener una alta densidad. La densidad de la blanco no sólo afecta a la tarifa de la farfulla, pero también afecta a las propiedades eléctricas y ópticas de la película. Cuanto más alta la densidad de la blanco es, mejor el funcionamiento de la película es. Además, el aumento de la densidad y de la fuerza de la blanco puede hacer que la blanco mejor soporta la tensión termal en el proceso de la farfulla. La densidad es también el índice del rendimiento clave de la blanco.

Generalmente, el material de blanco es estructura policristalina, y el tamaño de grano puede ser de micrómetro al milímetro. Para la misma clase de blanco, el índice de la farfulla de la blanco con pequeño tamaño de grano es más rápido que el de la blanco con tamaño de grano grande, mientras que la distribución del grueso de la película depositada por la blanco con la pequeña diferencia del tamaño de grano (distribución uniforme) es más uniforme.