Recambios del tungsteno y del molibdeno para las herramientas de Ionenimplantation

Recambios del tungsteno y del molibdeno para las herramientas de Ionenimplantation

Los recambios del tungsteno y del molibdeno para las herramientas de Ionenimplantation son un proceso del vacío en la industria del semiconductor para dopar las obleas con los iones, que cambian las propiedades eléctricas del material de la oblea, e.g la conductividad. El proceso se divide en los pasos siguientes: Creación de iones en una fuente de ion, una extracción y una separación total de iones para la implantación selectiva, un diverion del haz, una aceleración y una concentración del haz de ion a la oblea. Esta área de un implanter del ion se llama línea del haz.

Los materiales del alto rendimiento usados para las piezas en la línea del haz son tungsteno, molibdeno, Tantal y grafito. Además los aisladores de la alta cerámica pura, e.g. BN se utilizan.

Fanmetal proporciona los materiales consumibles y los componentes de alta calidad del reemplazo para el beamline en Ion Implanters de AMAT, de Varian y de Axelis. Las mejoras del equipo y las modificaciones de las piezas que acuerdan los requisitos de clientes para las mejoras de proceso son un servicio adicional.

Diagrama esquemático del haz de ion en un implanter del ion.

Recambios del tungsteno y del molibdeno para la imagen de las herramientas de Ionenimplantation: